학생 · 취업 준비생을 위한 공개 학습 가이드

공정을 안다고 말하기 전에,
실험 결과부터 설명해 보세요.

팹 장비를 직접 다뤄 보지 못했어도 연습할 수 있는 것은 있습니다. 한 가지 조건을 바꿔 결과를 비교하고, 그 차이를 자기 말로 설명하는 일입니다. 이 페이지는 그 연습을 돕습니다.

팹 실습이 어려운 학생이라면

첫날에는 한 공정만 끝까지 해보세요.

여덟 공정을 한 번에 외우는 것보다 한 공정에서 변수와 결과를 연결하는 경험이 먼저입니다. 아래 시간은 권장 학습 예시이며 실제 학습 시간은 사람마다 다릅니다.

  1. 10분1단계

    용어 세 개만 먼저 확인

    선택한 공정의 개요에서 공정의 역할, 장비·재료 이름 하나, 실험실에서 바꿀 값을 찾습니다. 모든 용어를 외우고 시작할 필요는 없습니다.

  2. 20분2단계

    조건 한 가지만 변경

    기본 조건으로 한 번 실행한 뒤, 변수 하나만 낮게 한 번, 높게 한 번 바꿔 다시 실행합니다.

  3. 10분3단계

    결과와 이유를 나란히 정리

    숫자가 어떻게 바뀌었는지 적고, 왜 그랬는지 아래 실험 노트의 다섯 칸에 정리합니다.

첫 공정은 포토를 권장하지만 필수 순서는 아닙니다. 이곳의 8개 항목은 팹의 8개 단위공정을 골라 놓은 학습 목록으로, 실제 반도체 생산에서 웨이퍼가 거치는 단일 순서가 아닙니다.

포토 공정부터 시작하기

공정 · 장비 · 품질 직무 취업 준비라면

공정기술 면접에서 실험을 설명하는 순서

실험 하나를 노트의 다섯 칸 순서로 정리해 두면, 면접에서 1분 안에 같은 순서로 말할 수 있습니다. 공정을 고르고 직접 확인한 숫자로 채워 보세요.

나의 실험 노트 · 포토

다섯 칸 중 0칸 채움
교육용 시뮬레이션
  1. 무엇을 그대로 두었나?
  2. 무엇을 얼마에서 얼마로 바꿨나?
  3. 무엇이 얼마나 달라졌나?
  4. 왜 그렇게 됐다고 보나?
  5. 결론을 굳히려면 무엇을 더 볼까?
  6. 이 결과를 어디까지 믿을 수 있나?
이 노트는 서버로 보내거나 저장하지 않습니다. 다른 화면으로 가기 전에 복사해 두세요. 노트는 공정마다 따로 쓰이며, 공정을 바꿨다가 돌아오면 그 공정에 쓴 글이 남아 있습니다.

노트 미리보기 · 복사가 안 될 때 사용
[Raypann Fab 학습 노트] 포토

교육용 시뮬레이션 결과이며 실제 장비 실습 기록이 아닙니다.

1 조건 · 고정한 것
(미작성)

1 조건 · 바꾼 것
(미작성)

2 결과
(미작성)

3 이유
(미작성)

4 더 확인할 것
(미작성)

5 한계
(미작성)

공정별 바꿔 볼 값과 볼 지표

기업 면접 기출문제가 아니라, 실습 결과를 설명하는 연습입니다. 공정마다 값 하나를 바꾸면 무엇이 움직이는지 먼저 보고, 직접 실험해 확인해 보세요.

01

포토

바꿀 값 · 노광량

  • 오르는 것 · 을 올리면 이 가늘어진다
  • 내리는 것 · 내리면 굵어진다 · 기준
까닭과 실험 순서 보기

양성 감광막을 가정했을 때 노광량과 선폭이 어떻게 연결되는지, 이 결과만으로 무엇을 단정할 수 없는지 설명해 보세요.

바꿔 볼 값 ·
은 그대로 두고 노광량(Dose)만 바꿉니다. 목표 선폭(CD)은 바꾸지 않는 합격 기준입니다.
기본값 대비 ·
노광량(Dose)을 기본값보다 한 번은 낮게, 한 번은 높게 설정합니다.
이 값의 개념 ·
노광량은 에 준 빛 에너지로, 선폭(CD)을 정하는 값입니다.
지표가 움직이는 방향 ·
노광량을 높이면 선폭(CD)이 가늘어지고, 낮추면 굵어집니다(빛을 받은 곳이 에서 녹는 양성 감광막, 남는 선의 폭 기준).
까닭 ·
노광량이 클수록 을 넘는 폭이 넓어지기 때문입니다.
함께 볼 지표 ·
실험별 CD와 판정, 표시된 위반 규칙
이 실험만으로는 ·
CD 이탈만으로 원인을 노광량으로 단정할 수는 없습니다. · 현상 · 초점도 CD를 움직입니다.
결과를 본 뒤 돌아가 읽을 곳 ·
공정 개요의 «이 공정에서 배울 것», 용어 «노광량(Dose)» · «선폭(CD)»
02

식각

바꿀 값 · 바이어스 파워

  • 오르는 것 · 올리면 이 높아진다
  • 주의할 것 · 너무 높이면 가 떨어지고, 너무 낮추면 가 남는다
까닭과 실험 순서 보기

깊이가 맞아도 합격이라고 말하기 어려운 이유는 무엇인가요?

바꿔 볼 값 ·
나머지 조건을 유지하고 만 바꿔 봅니다.
기본값 대비 ·
바이어스 파워를 기본값보다 한 번은 낮게, 한 번은 높게 설정합니다.
이 값의 개념 ·
바이어스 파워는 를 정하는 값으로, 이방성과 이어집니다.
지표가 움직이는 방향 ·
바이어스 파워를 높이면 이방성이 높아지지만, 지나치게 높이면 선택비가 떨어집니다. 너무 낮추면 잔사가 늘어납니다.
까닭 ·
을 수직으로 더 세게 끌어당기기 때문이고, 너무 세면 물리적 충돌이 커지기 때문입니다. 반대로 이온이 약하면 바닥에 쌓인 를 수직 이온이 깨지 못해 잔사로 남습니다.
함께 볼 지표 ·
이방성·선택비·잔사·걸린 규칙
이 실험만으로는 ·
깊이가 맞아도 합격이라고 말하기 어렵습니다. 한 지표만 맞추고 나머지를 희생했을 수 있습니다.
결과를 본 뒤 돌아가 읽을 곳 ·
공정 개요의 «이 공정에서 배울 것», 용어 «이방성» · «선택비»
03

세정

바꿀 값 · 세정 시간

  • 오르는 것 · 늘리면 이 오른다
  • 주의할 것 · 도 함께 커진다
까닭과 실험 순서 보기

을 무조건 길게 잡지 않는 이유를 두 지표로 설명해 보세요.

바꿔 볼 값 ·
와 온도를 고정하고 세정 시간만 바꿉니다.
기본값 대비 ·
세정 시간을 기본값보다 한 번은 짧게, 한 번은 길게 설정합니다.
이 값의 개념 ·
세정 시간은 오염 제거율(PRE)과 막 손실, 곧 오염 제거량과 표면 손상을 함께 좌우하는 값입니다.
지표가 움직이는 방향 ·
세정 시간을 늘리면 오염 제거율(PRE)은 오르지만 막 손실도 함께 커집니다.
까닭 ·
이 오래 닿을수록 오염은 더 떨어지지만 막도 함께 녹기 때문입니다.
함께 볼 지표 ·
오염 제거율과 막 손실, 판정
이 실험만으로는 ·
제거율만 올리면 막 손실이 따라옵니다. 는 씻는 과정이 아니라 말리는 과정에서 생기므로 이 실험으로는 말할 수 없습니다. 제거율 하나만 보고 좋은 세정이라고 말할 수 없습니다.
결과를 본 뒤 돌아가 읽을 곳 ·
공정 개요의 «이 공정에서 배울 것», 용어 «오염 제거율(PRE)» · «표면 거칠기 · 막 손실»
Rp
04

이온주입

바꿀 값 · 가속 에너지

  • 오르는 것 · 올리면 가 깊어진다
  • 주의할 것 · 이 모델에서는 이 떨어져 이 오른다
까닭과 실험 순서 보기

를 바꾸면 주입 깊이(Rp) · 활성화율 · 판정이 어떻게 달라지는지 설명하고, 의 역할은 이 실험으로 말할 수 없는 까닭을 함께 말해 보세요. 주입량(농도)은 도즈가, 깊이는 가속 에너지가 정한다는 구분도 짚어 보세요. 가 왜 뒤따르는지는 용어 «활성화율» 의 풀이에서 확인하세요.

바꿔 볼 값 ·
도즈와 을 고정하고 가속 에너지만 바꿉니다.
기본값 대비 ·
가속 에너지를 기본값보다 한 번은 낮게, 한 번은 높게 설정합니다.
이 값의 개념 ·
가속 에너지는 주입 깊이(Rp)를 정하는 값입니다. 주입량(농도)은 도즈가 정합니다.
지표가 움직이는 방향 ·
가속 에너지를 높이면 주입 깊이(Rp)가 깊어집니다. 이 모델에서는 활성화율이 떨어져 도즈가 같아도 시트저항이 오르고, 도 커집니다.
까닭 ·
Rp 는 이 가장 많이 멈춘 평균 깊이이고 가속 에너지가 클수록 깊어집니다. 활성화율은 주입 때 생긴 손상이 클수록 낮아지는데, 이 모델에서는 가속 에너지를 올리면 떨어집니다.
함께 볼 지표 ·
주입 깊이(Rp)·활성화율·시트저항·손상·판정
이 실험만으로는 ·
가속 에너지만 바꾼 결과라서 도즈의 역할은 이 실험으로 말할 수 없습니다.
결과를 본 뒤 돌아가 읽을 곳 ·
공정 개요의 «이 공정에서 배울 것», 용어 «주입 깊이(Rp)» · «도즈(주입량)» · «활성화율»
05

확산

바꿀 값 · Drive-in 시간

  • 오르는 것 · 늘리면 가 깊어진다
  • 주의할 것 · 시간에 정비례하지 않고, 을 쓴다
까닭과 실험 순서 보기

시간을 늘렸을 때 얻는 것과 주의할 것을 나눠 설명해 보세요.

바꿔 볼 값 ·
온도를 고정하고 시간만 바꿉니다.
기본값 대비 ·
Drive-in 시간을 기본값보다 한 번은 짧게, 한 번은 길게 설정합니다.
이 값의 개념 ·
Drive-in 시간은 접합 깊이를 정하는 값입니다.
지표가 움직이는 방향 ·
Drive-in 시간이 길수록 접합 깊이가 깊어집니다. 깊이를 맞추되 × 시간을 아껴 열예산(가 받을 수 있는 열의 한도)을 지키는 조합을 찾아야 합니다.
까닭 ·
확산계수(원자가 퍼지는 빠르기)는 온도에 지수적으로 커지고, 접합 깊이는 시간에는 제곱근으로 반응합니다. 그래서 시간이 길수록 깊어지되 시간에 정비례해 깊어지지는 않습니다.
함께 볼 지표 ·
접합 깊이··열예산
이 실험만으로는 ·
이 너무 깊으면 이웃 접합과 맞닿아 이 생깁니다. 시간을 늘렸을 때 얻는 것과 주의할 것을 함께 말합니다.
결과를 본 뒤 돌아가 읽을 곳 ·
공정 개요의 «이 공정에서 배울 것», 용어 «본 확산(Drive-in)» · «접합 깊이» · «열예산»
06

박막

바꿀 값 · SiH₄ 유량

  • 오르는 것 · 올리면 막이 빨리 쌓여 두꺼워진다
  • 주의할 것 · 지나치면 가 무너지고 이 생긴다
까닭과 실험 순서 보기

두께 하나만 보고 좋은 조건이라고 판단할 수 없는 이유를 말해 보세요.

바꿔 볼 값 ·
온도와 압력을 고정하고 만 바꿔 봅니다.
기본값 대비 ·
SiH₄ 유량을 기본값보다 한 번은 낮게, 한 번은 높게 설정합니다.
이 값의 개념 ·
SiH₄ 유량은 공급량을 정하는 값입니다.
지표가 움직이는 방향 ·
SiH₄ 유량을 높이면 이 올라 두께가 늘지만, 무리하게 올리면 과 균일도가 무너지고 파티클이 생깁니다.
까닭 ·
공급이 늘어 막이 더 빨리 쌓이기 때문입니다. 무리하게 올리면 가스가 에 닿기 전 공중에서 미리 반응해 고체 입자(파티클)가 떨어집니다.
함께 볼 지표 ·
·균일도·파티클
이 실험만으로는 ·
성장률을 바꿨는데 을 함께 조정하지 않으면 두께가 바로 벗어납니다. 두께 하나만 보고 판단할 수 없습니다.
결과를 본 뒤 돌아가 읽을 곳 ·
공정 개요의 «이 공정에서 배울 것», 용어 «SiH₄ 유량» · «단차 피복성» · «파티클» · «균일도»
07

연마

바꿀 값 · 연마 시간

  • 오르는 것 · 늘리면 이 는다
  • 주의할 것 · 너무 오래 하면 와 이 커진다
까닭과 실험 순서 보기

연마 종료 시점을 정할 때 제거량 말고 무엇을 함께 봐야 하나요?

바꿔 볼 값 ·
과 를 고정하고 만 바꿉니다.
기본값 대비 ·
연마 시간을 기본값보다 한 번은 짧게, 한 번은 길게 설정합니다.
이 값의 개념 ·
연마 시간은 제거량과 과연마를 함께 좌우하는 값입니다.
지표가 움직이는 방향 ·
연마 시간이 길수록 제거량이 늘지만, 너무 오래 하면 과연마가 커지고 디싱도 커집니다.
까닭 ·
제거량은 × 연마 시간으로 정해지기 때문입니다. 디싱은 금속 부분이 접시처럼 패이는 현상이고, 재료마다 깎이는 속도가 달라 생기므로 오래 연마할수록 커집니다.
함께 볼 지표 ·
제거량·디싱·판정·걸린 규칙
이 실험만으로는 ·
충분히 연마했더라도 너무 오래 진행하면 불량이 생깁니다. 종료 시점은 제거량 하나로 정하지 않습니다.
결과를 본 뒤 돌아가 읽을 곳 ·
공정 개요의 «이 공정에서 배울 것», 용어 «제거율» · «과연마 · 미연마(Over · Under Polishing)» · «디싱 · 이로전(Dishing · Erosion)»
08

금속

바꿀 값 · 도금 전류밀도

  • 오르는 것 · 올리면 홈을 빨리 채운다
  • 주의할 것 · 홈 입구가 먼저 막혀 위험이 커진다
까닭과 실험 순서 보기

속도만 높이는 접근이 왜 위험할 수 있는지 설명해 보세요.

바꿔 볼 값 ·
와 조건을 고정하고 만 바꿉니다.
기본값 대비 ·
도금 전류밀도를 기본값보다 한 번은 낮게, 한 번은 높게 설정합니다.
이 값의 개념 ·
도금 전류밀도는 충전 속도와 보이드 위험을 함께 좌우하는 값입니다.
지표가 움직이는 방향 ·
도금 전류밀도를 높이면 충전 속도는 빨라지지만 보이드(빈 공간) 위험이 커집니다.
까닭 ·
전류밀도가 높으면 홈 입구가 먼저 막히기 때문입니다.
함께 볼 지표 ·
보이드·
이 실험만으로는 ·
충전 속도만 높이는 접근은 보이드로 배선 단면이 줄어 저항이 오르는 위험이 있습니다.
결과를 본 뒤 돌아가 읽을 곳 ·
공정 개요의 «이 공정에서 배울 것», 용어 «보이드» · «전류밀도» · «홈 종횡비(AR)»

이 학습으로 할 수 있는 일과 할 수 없는 일

공정 용어를 이해하고 교육용 시뮬레이션에서 조건과 결과의 관계를 관찰하는 데 사용할 수 있습니다. 반면 실제 생산 장비의 조작, 레시피 설정, 안전 절차, 수율 판단을 검증한 경험은 아닙니다. 지원서나 면접에서도 “온라인 모의실습”임을 분명히 밝히고, 직접 기록한 결과만 이야기해 주세요.

교육용 근사란 · 이 화면의 수치와 경향은 교육용 근사 모델의 값입니다. 실제 공정과 다를 수 있으며, 장비 운전이나 안전 판단에는 쓸 수 없습니다.

← 포털 소개로 돌아가기