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바꿀 값 · 노광량
- 오르는 것 · 을 올리면 이 가늘어진다
- 내리는 것 · 내리면 굵어진다 · 기준
까닭과 실험 순서 보기
양성 감광막을 가정했을 때 노광량과 선폭이 어떻게 연결되는지, 이 결과만으로 무엇을 단정할 수 없는지 설명해 보세요.
- 바꿔 볼 값 ·
- 은 그대로 두고 노광량(Dose)만 바꿉니다. 목표 선폭(CD)은 바꾸지 않는 합격 기준입니다.
- 기본값 대비 ·
- 노광량(Dose)을 기본값보다 한 번은 낮게, 한 번은 높게 설정합니다.
- 이 값의 개념 ·
- 노광량은 에 준 빛 에너지로, 선폭(CD)을 정하는 값입니다.
- 지표가 움직이는 방향 ·
- 노광량을 높이면 선폭(CD)이 가늘어지고, 낮추면 굵어집니다(빛을 받은 곳이 에서 녹는 양성 감광막, 남는 선의 폭 기준).
- 까닭 ·
- 노광량이 클수록 을 넘는 폭이 넓어지기 때문입니다.
- 함께 볼 지표 ·
- 실험별 CD와 판정, 표시된 위반 규칙
- 이 실험만으로는 ·
- CD 이탈만으로 원인을 노광량으로 단정할 수는 없습니다. · 현상 · 초점도 CD를 움직입니다.
- 결과를 본 뒤 돌아가 읽을 곳 ·
- 공정 개요의 «이 공정에서 배울 것», 용어 «노광량(Dose)» · «선폭(CD)»