포토 공정 - 감광막에 회로 모양을 새깁니다
포토 공정(포토리소그래피)은 감광막에 회로 모양을 새기는 공정입니다. 노광량을 바꾸면 선폭(CD)이 어느 쪽으로 움직이는지 교육용 모의실험으로 확인하고 직접 설명해 봅니다.
포토 공정에서 배우는 것
- · · · · 로 이어지는 의 단계를 순서대로 설명합니다.
- (NA)를 올리면 는 좋아지지만 는 줄어드는 관계를 실험으로 확인합니다.
- · · PEB 온도 · 을 조정해 과 기준을 맞춥니다.
공정을 지난 뒤 · 에 회로 무늬가 새겨진
직무와 이어지는 점 · 포토·계측 직무에서는 선폭이 어긋났을 때 노광량뿐 아니라 초점과 해상도 조건도 함께 확인합니다. 실험에서 어떤 값을 고정했는지까지 말해 보세요.
단계 한눈에 보기
- 1코팅 — 에 (PR)을 고르게 바른다
- 2노광 — 를 통과한 빛으로 회로 상을 새긴다
- 3PEB — 열을 주어 으로 생긴 산 반응을 완성한다
- 4현상 — 반응한 부분을 씻어내 패턴을 드러낸다
- 5ADI 검사 — 과 을 재어 다음 공정으로 보낼지 정한다
직접 바꿔 볼 값 - 노광량과 선폭(CD)
- 바꿔 볼 값 ·
- 은 그대로 두고 만 바꿉니다. 은 바꾸지 않는 합격 기준입니다.
- 기본값 대비 ·
- 노광량(Dose)을 기본값보다 한 번은 낮게, 한 번은 높게 설정합니다.
- 이 값의 개념 ·
- 노광량은 에 준 빛 에너지로, 선폭(CD)을 정하는 값입니다.
- 지표가 움직이는 방향 ·
- 노광량을 높이면 선폭(CD)이 가늘어지고, 낮추면 굵어집니다(빛을 받은 곳이 에서 녹는 , 남는 선의 폭 기준).
- 까닭 ·
- 노광량이 클수록 을 넘는 폭이 넓어지기 때문입니다.
- 함께 볼 지표 ·
- 실험별 CD와 판정, 표시된 위반 규칙
- 이 실험만으로는 ·
- CD 이탈만으로 원인을 노광량으로 단정할 수는 없습니다. · 현상 · 초점도 CD를 움직입니다.
- 결과를 본 뒤 돌아가 읽을 곳 ·
- 공정 개요의 «이 공정에서 배울 것», 용어 «노광량(Dose)» · «선폭(CD)»
주요 용어
- 빛에 반응하는 고분자 막입니다. 노광·PEB·현상을 거쳐 회로 패턴을 형성하며, 포토레지스트·레지스트·PR과 같은 말입니다.
- 마스크를 통과한 빛으로 감광막에 패턴의 잠상, 곧 아직 눈에 보이지 않는 상을 형성하는 단계입니다.
- 감광막에 준 빛 에너지입니다. 양성 감광막에서는 노광량을 키우면 문턱을 넘는 폭이 넓어져 선폭(CD)이 줄어듭니다.
- 완성된 패턴의 실제 선폭·공간폭입니다. 여러 공정 조건이 모여 결정되는 최종 결과 지표로, 목표값과 산포가 수율을 좌우합니다.
- 노광 후 웨이퍼를 가열해 노광으로 생긴 광산을 확산·반응시키는 단계입니다. 화학증폭형 레지스트의 반응을 완성하고 정재파 물결을 평활화합니다.
- 노광·PEB를 마친 웨이퍼를 현상액에 담가 반응한 부분을 녹여내 패턴을 드러내는 단계입니다. 현상 시간·농도가 선폭과 측벽 프로파일을 결정합니다.
- 초점이 다소 어긋나도 패턴이 규격 안에 맺히는 초점 방향의 여유 범위입니다. NA가 커질수록 급격히 얇아집니다.
자주 묻는 질문
포토 공정이란 무엇인가요?
에 회로 모양을 새깁니다. 이 공정에서 배울 것 — · · · · 로 이어지는 의 단계를 순서대로 설명합니다. (NA)를 올리면 는 좋아지지만 는 줄어드는 관계를 실험으로 확인합니다. · · PEB 온도 · 을 조정해 과 기준을 맞춥니다.
노광량을 바꾸면 선폭(CD)은 어떻게 되나요?
을 높이면 이 가늘어지고, 낮추면 굵어집니다(빛을 받은 곳이 에서 녹는 , 남는 선의 폭 기준). 노광량이 클수록 을 넘는 폭이 넓어지기 때문입니다. 이 화면의 수치와 경향은 교육용 근사 모델의 값입니다. 실제 공정과 다를 수 있으며, 장비 운전이나 안전 판단에는 쓸 수 없습니다.
노광량과 초점의 차이는 무엇인가요?
에 준 빛 에너지입니다. 에서는 을 키우면 을 넘는 폭이 넓어져 이 줄어듭니다. 투영된 패턴의 상이 위 감광막에서 가장 선명하게 맺히는 위치입니다.
교육용 근사란
이 화면의 수치와 경향은 교육용 근사 모델의 값입니다. 실제 공정과 다를 수 있으며, 장비 운전이나 안전 판단에는 쓸 수 없습니다.