식각 공정 - 덮이지 않은 부분을 깎아냅니다
식각 공정은 덮이지 않은 부분을 깎아내는 공정입니다. 건식과 습식의 차이, 바이어스 파워를 바꿀 때 이방성 · 선택비 · 잔사가 어떻게 달라지는지 직접 바꿔 보고 설명합니다.
식각 공정에서 배우는 것
- 과 의 차이( · )를 설명합니다.
- · · 압력 · 가 와 에 주는 영향을 실험으로 확인합니다.
- 과 의 의미를 알고, · 이방성 · 선택비 · 기준을 맞춥니다.
공정을 지난 뒤 · 노출된 막이 선택적으로 제거된
직무와 이어지는 점 · 공정 직무를 준비한다면 목표 깊이가 맞더라도 손실과 옆면 형상이 괜찮은지 확인해야 하는 이유를 설명해 보세요.
단계 한눈에 보기
- 1플라즈마 생성 — 기체를 과 로 쪼갠다
- 2이온 충돌 — 수직으로 때려 아래로만 파 내려간다
- 3화학 반응 — 라디칼이 재료와 반응해 을 만든다
- 4종점 검출 (엔드포인트) — 아래 층이 드러나는 순간을 빛으로 알아낸다
직접 바꿔 볼 값 - 바이어스 파워와 이방성 · 선택비
- 바꿔 볼 값 ·
- 나머지 조건을 유지하고 만 바꿔 봅니다.
- 기본값 대비 ·
- 바이어스 파워를 기본값보다 한 번은 낮게, 한 번은 높게 설정합니다.
- 이 값의 개념 ·
- 바이어스 파워는 를 정하는 값으로, 과 이어집니다.
- 지표가 움직이는 방향 ·
- 바이어스 파워를 높이면 이방성이 높아지지만, 지나치게 높이면 가 떨어집니다. 너무 낮추면 가 늘어납니다.
- 까닭 ·
- 을 수직으로 더 세게 끌어당기기 때문이고, 너무 세면 물리적 충돌이 커지기 때문입니다. 반대로 이온이 약하면 바닥에 쌓인 를 수직 이온이 깨지 못해 잔사로 남습니다.
- 함께 볼 지표 ·
- 이방성·선택비·잔사·걸린 규칙
- 이 실험만으로는 ·
- 깊이가 맞아도 합격이라고 말하기 어렵습니다. 한 지표만 맞추고 나머지를 희생했을 수 있습니다.
- 결과를 본 뒤 돌아가 읽을 곳 ·
- 공정 개요의 «이 공정에서 배울 것», 용어 «이방성» · «선택비»
주요 용어
- 건식 식각은 플라즈마의 이온과 라디칼을 이용하는 식각으로, 방향성 식각을 구현할 수 있습니다.
- 습식 식각은 화학 용액을 이용해 막을 제거하는 식각입니다. 재료와 조건에 따라 방향성이 달라집니다.
- 플라즈마는 가스에 RF 전력을 가해 이온화시킨 상태입니다. 양이온, 전자, 라디칼이 함께 존재합니다.
- 이방성은 수직 방향 식각이 우세해 수직에 가까운 측벽을 만드는 성질입니다. 물리적 식각을 키워 이방성을 높이면 선택비가 나빠지기 쉬워 둘 사이의 균형을 찾아야 합니다.
- 선택비는 식각 대상 막의 식각 속도와 마스크(PR) 또는 하부 막의 식각 속도의 비율입니다. 식각이 끝날 때까지 마스크가 버틸 수 있는지를 나타냅니다.
- 바이어스 파워는 이온을 수직으로 끌어당겨 이방성을 높이는 전력입니다. 지나치게 올리면 물리적 충돌이 커져 선택비가 떨어집니다.
- 종점 검출은 식각이 목표 막을 다 뚫은 순간을 실시간으로 알아내는 기술입니다. 이 시점을 놓치면 하부 막까지 깎이고, 너무 일찍 멈추면 잔막이 남습니다.
자주 묻는 질문
식각 공정이란 무엇인가요?
덮이지 않은 부분을 깎아냅니다. 이 공정에서 배울 것 — 과 의 차이( · )를 설명합니다. · · 압력 · 가 와 에 주는 영향을 실험으로 확인합니다. 과 의 의미를 알고, · 이방성 · 선택비 · 기준을 맞춥니다.
바이어스 파워를 바꾸면 이방성과 선택비는 어떻게 되나요?
를 높이면 이 높아지지만, 지나치게 높이면 가 떨어집니다. 너무 낮추면 가 늘어납니다. 을 수직으로 더 세게 끌어당기기 때문이고, 너무 세면 물리적 충돌이 커지기 때문입니다. 반대로 이온이 약하면 바닥에 쌓인 를 수직 이온이 깨지 못해 잔사로 남습니다. 이 화면의 수치와 경향은 교육용 근사 모델의 값입니다. 실제 공정과 다를 수 있으며, 장비 운전이나 안전 판단에는 쓸 수 없습니다.
건식 식각과 습식 식각의 차이는 무엇인가요?
은 의 과 을 이용하는 으로, 을 구현할 수 있습니다. 은 을 이용해 막을 제거하는 식각입니다. 재료와 조건에 따라 방향성이 달라집니다.
교육용 근사란
이 화면의 수치와 경향은 교육용 근사 모델의 값입니다. 실제 공정과 다를 수 있으며, 장비 운전이나 안전 판단에는 쓸 수 없습니다.